导电薄膜方块电阻多探针测量头
授权
摘要
一种导电薄膜方块电阻多探针测量头，涉及薄膜检测技术领域，所解决的是提升边缘测量能力的技术问题。该测量头包括探头座，其特征在于：所述探头座上设有5个探针，该5个探针分别为第一探针、第二探针、第三探针、第四探针、第五探针；所述第一探针、第二探针、第三探针、第四探针依序等间距直线排列；所述第一探针、第四探针、第五探针布设成等腰三角形的形状，并且第五探针位于在等腰三角形的顶角部，第一探针、第四探针分别位于等腰三角形的两底角部。本实用新型提供的测量头，用于导电薄膜的测量。
基本信息
专利标题 ：
导电薄膜方块电阻多探针测量头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921439542.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-02
授权号 ：
CN210487867U
授权日 ：
2020-05-08
发明人 ：
刘相华
申请人 ：
麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区盛夏路608号2幢506室
代理机构 ：
上海骁象知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵峰
优先权 ：
CN201921439542.3
主分类号 ：
G01R27/02
IPC分类号 ：
G01R27/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R27/00
测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置
G01R27/02
电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量
法律状态
2020-05-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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