一种防探针脱落的薄膜探针头，其特征在于：包括提供一作用面（311）的支撑体（31）、覆在所述作用面（311）上的薄膜（32）、设置在薄膜（32）内的互连线（34）以及设置在薄膜（32）表面的探针（33）；其特征在于：所述探针（33）的朝向薄膜（32）的表面定义为连接面，该连接面的中部设有一凹陷（331）；所述互连线（34）贴着所对应的探针（33）的连接面设置，且互连线（34）在凹陷（331）处具有一断开处（341），所述薄膜（32）材料经断开处（341）填满凹陷（331）与凹陷（331）的底面直接接触连接，有效防止了加工过程和使用过程中探针与薄膜层相分离（即探针脱落）。