本实用新型公开了薄膜方阻测量装置，包括压夹探头组件，压夹探头组件包括两个压夹探头结构，两个压夹探头结构之间形成有检测空间；其中一个压夹探头结构设置为第一压夹探头、另一压夹探头结构设置为第二压夹探头，第一压夹探头设置于第二压夹探头的上方；探头驱动组件，探头驱动组件与压夹探头结构向另一压夹探头结构靠近或远离；电阻计，电阻计与压夹探头组件相连。在本薄膜方阻测量装置工作时，两个压夹探头结构的探针分别与双面金属膜的两个面进行接触，并且同时对双面金属膜的两个面的方阻进行测量，避免了以前测量双面金属膜时需要人工将双面金属膜进行翻转的过程，提高了检测的效率，并且避免了翻转过程中工作人员对双面金属膜造成损坏。