高精度薄膜应力实时测量装置
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型提供一种高精度薄膜应力实时测量装置，该装置由He－Ne激光器、反射镜、光电位敏探测器、A/D数据采集卡和计算机组成。整个装置可以方便地安装在任一镀膜机上，He－Ne激光器、光电位敏探测器、A/D数据采集卡和计算机均在镀膜机外，激光器光束通过镀膜机观察窗口进入镀膜室，通过反射镜调整方向射到基片上，反射光束再通过反射镜调整方向后从观察窗口出来，光电位敏探测器探测反射光束的偏转位移，数据采集卡采集光电位敏探测器的模拟信号并转化为数字信号给计算机。通过计算机对信号进行处理就可以实时监控薄膜的应力变化。本实用新型具有结构简单、精确度高、数据处理简便、与镀膜机兼容性强等特点。
基本信息
专利标题 ：
高精度薄膜应力实时测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620047909.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-11-17
授权号 ：
CN200972452Y
授权日 ：
2007-11-07
发明人 ：
申雁鸣朱美萍郭世海夏志林邵建达贺洪波易葵范正修邵淑英
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
201800上海市800－211邮政信箱
代理机构 ：
上海新天专利代理有限公司
代理人 ：
张泽纯
优先权 ：
CN200620047909.3
主分类号 ：
G01N21/19
IPC分类号 ：
G01N21/19 G01L1/24
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/19
二向色性
法律状态
2010-01-13 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-11-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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