镀制楔形膜用补正板
专利权的终止
摘要
本实用新型公开一种镀制楔形膜用补正板,有基片(1),在基片(1)上设有角形切口(2)。使用时将其固定于基板支架前,蒸镀的膜厚与旋转基板透过角形切口而面对蒸镀源的时间成正比,因此基板只要平放(而无需倾斜)于基板支架上即可。克服了现有技术所存在的缺点,具有可有效利用基板支架面积、增加单次蒸镀镜片装载数量、减少蒸镀时间、削弱膜层柱状结构化倾向、取消膜厚梯度最大值限制等优点。
基本信息
专利标题 :
镀制楔形膜用补正板
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820013036.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-05-21
授权号 :
CN201199268Y
授权日 :
2009-02-25
发明人 :
赵阳昆陈壮单巨臣
申请人 :
中国华录·松下电子信息有限公司
申请人地址 :
116000辽宁省大连市高新技术园区华路1号(中国华录·松下电子信息有限公司)
代理机构 :
大连非凡专利事务所
代理人 :
闪红霞
优先权 :
CN200820013036.3
主分类号 :
G02B1/10
IPC分类号 :
G02B1/10 C23C14/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B1/00
按制造材料区分的光学元件;用于光学元件的光学涂层
G02B1/10
对光学元件表面涂覆或对它进行表面处理后所产生的光学涂层
法律状态
2016-07-06 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101669487367
IPC(主分类) : G02B 1/10
专利号 : ZL2008200130363
申请日 : 20080521
授权公告日 : 20090225
终止日期 : 20150521
号牌文件序号 : 101669487367
IPC(主分类) : G02B 1/10
专利号 : ZL2008200130363
申请日 : 20080521
授权公告日 : 20090225
终止日期 : 20150521
2009-02-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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