一种真空磁控溅射薄膜镀制设备

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，包括壳体与挡板，所述转轴底端固定连接有连接块，所述连接块上对称滑动穿插有压杆，所述压杆靠近空腔一端开设有第一凹槽，所述第一凹槽内设有移动杆，所述移动杆上转动连接有转动杆，所述连接块右侧开设有连接槽，所述连接槽内竖直方向上开设有第二凹槽，所述第二凹槽内滑动连接有插杆，所述插杆靠近第二凹槽一端固定连接有钢丝绳，所述挡板左侧固定连接有连接杆。本实用新型按压压板，使得压杆向内运动，带动转动杆右端向上运动，带动钢丝绳向上运动，带动插杆向上运动，然后转动L形档杆，使得L形档杆与压板外表面相抵，避免压杆向外运动，随后取下挡板，完成对挡板的拆卸。

基本信息

专利标题：

一种真空磁控溅射薄膜镀制设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021811875.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-26

授权号：

CN213013074U

授权日：

2021-04-20

发明人：

王军

申请人：

湘潭市宏锋机械设备制造厂

申请人地址：

湖南省湘潭市经开区伏林东路6号

代理机构：

北京成实知识产权代理有限公司

代理人：

陈永虔

优先权：

CN202021811875.7

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35