应用于真空电弧离子镀及磁控溅射离子镀的驱动电源
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摘要
应用于真空电弧离子镀及磁控溅射离子镀的驱动电源,包括四只可控开关管QC1,QC2,QC3,QC4形成桥臂,每个可控开关管的漏源极之间并联一个续流高频二极管;可控开关管控制极与电源的控制电路连接以控制其导通关断;还包括高频二极管DC5,DC6,滤波电容CC1、CC2、CC3、电解电容CA,CB;电阻RC1、RC2,电感LC;RC1与DC5并联后一端与A电源连接,另一端通过LC与B电源连接;DC6阴极与CC3串联后接驱动电源的低电位,DC6阳极与高频DC5阳极连接;RC2一端与DC6阴极连接,另一端与B电源连接;CC1并联在驱动电源输入端,CC2接在DC6阳极以及驱动电源低电位两端。
基本信息
专利标题 :
应用于真空电弧离子镀及磁控溅射离子镀的驱动电源
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921901260.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-06
授权号 :
CN210958121U
授权日 :
2020-07-07
发明人 :
窦久存
申请人 :
唐山标先电子有限公司
申请人地址 :
河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村
代理机构 :
北京中创云知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
肖佳
优先权 :
CN201921901260.0
主分类号 :
H02M1/00
IPC分类号 :
H02M1/00 H02M3/335 H02M3/158 H02M9/02 C23C14/35 C23C14/32
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法律状态
2020-07-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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