一种石英晶片腐蚀机

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，所述每一组驱动系统包括：摆动机构，具有：机械手、机械臂以及副机械臂；滑动机构，具有：平行滑道和滑动板，通过两机构的配合，实现驱动系统钩挂的腐蚀篮同时作上下往复运动和正反旋转运动，使腐蚀篮中的微型晶片充分浸泡在腐蚀液中，提高了石英晶片腐蚀机的工作效率，降低了石英晶片腐蚀的成本。

基本信息

专利标题：

一种石英晶片腐蚀机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820094090.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-05-28

授权号：

CN201272743Y

授权日：

2009-07-15

发明人：

叶竹之

申请人：

深圳泰美克晶体技术有限公司

申请人地址：

518000广东省深圳市南山区马家龙工业区63栋6楼

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

刘健

优先权：

CN200820094090.5

主分类号：

C03C15/00

IPC分类号：

C03C15/00