一种端窗式超软X射线管，包括真空绝缘壳及相应的阴极部件和阳极部件，在真空绝缘壳上、朝向阴极电子流方向的端部开口处，遮盖设有铍基金属片，该铍基金属片和阳极部件导通构成X射线输出窗。本实用新型的铍基金属片受到阴极电子流轰击后，可激发出较长波长的超软X射线，X射线的辐射主方向和阴极电子流方向一致，射线通道没有阻挡，辐射角度大，而且这种端窗式的结构简单紧凑，便于仪器小型化。