换靶台车
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种换靶台车,包括有:支撑座体,为由复数个框体与复数个杆体所组成的立体框架;翻转单元,设置于该支撑座体上,具有一翻转框体及设置于该翻转框体两相对边以连结所述支撑座体的旋转装置,所述旋转装置具有一固定于所述支撑座体的心轴固定座以及一固定于所述翻转框体并穿设于所述心轴固定座的转动心轴,所述转动心轴异于所述翻转框体的一端设有一把手;复数个固定单元,设置于所述翻转框体异于所述旋转装置的两相对边;通过上述结构,当溅镀设备的溅镀阴极进行靶材更换时,可以将溅镀阴极固定后作180度翻转,以改善过去采用人力翻转所产生的缺陷。

基本信息
专利标题 :
换靶台车
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820127570.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-07-23
授权号 :
CN201258357Y
授权日 :
2009-06-17
发明人 :
洪婉玲郭勋聪
申请人 :
钰衡科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台南县安定乡中沙村沙仑39-5号
代理机构 :
北京德琦知识产权代理有限公司
代理人 :
王一斌
优先权 :
CN200820127570.7
主分类号 :
C23C14/34
IPC分类号 :
C23C14/34  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2011-09-28 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101111712108
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2008201275707
申请日 : 20080723
授权公告日 : 20090617
终止日期 : 20100723
2009-06-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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