换靶装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型属于装换靶材技术领域，尤其涉及一种换靶装置，包括移动小车、导向导轨以及连靶机构，导向导轨与移动小车滑接配合，并沿置靶方向延伸设置，且用于引导移动小车沿置靶方向移动，连靶机构连接于移动小车，并用于与柱靶可拆卸连接。基于本实用新型的结构，在装换柱板的过程中，柱靶不会发生侧倾，从而避免了柱靶与靶槽的槽壁发生摩擦、磕碰等。
基本信息
专利标题 ：
换靶装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922096394.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-28
授权号 ：
CN211199384U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
徐旻生庄炳河张晓鹏王应斌龚文志张亮李永杰
申请人 ：
爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽街道科技北二路28号豪威大楼二楼A区
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
周伟锋
优先权 ：
CN201922096394.6
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-12-29 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/34
登记生效日 : 20201217
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司
变更后权利人 : 爱发科（中国）投资有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市南山区西丽街道科技北二路28号豪威大楼二楼A区
变更后权利人 : 201100 上海市闵行区七莘路1000号1幢4A
登记生效日 : 20201217
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司
变更后权利人 : 爱发科（中国）投资有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市南山区西丽街道科技北二路28号豪威大楼二楼A区
变更后权利人 : 201100 上海市闵行区七莘路1000号1幢4A
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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