本实用新型涉及一种用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，主要包括：一溅镀靶源，其主要包括一叠置的阴极本体及靶材；一旋转机构，其设于溅镀靶源的侧边中段位置，该旋转机构可驱动溅镀靶源旋转其角度至更换靶材过当位置，该旋转机构下方设一基架，该基架承载该旋转机构；一伸缩机构，该伸缩机构与基架通过连接元件连接，该伸缩机构制动基架以及旋转机构伸缩以间接连动溅镀靶源形成升降；一辅助伸缩机构，该辅助伸缩机构设于溅镀靶源的一侧边并对应该旋转机构的位置，辅助伸缩机构与伸缩机构对溅镀靶源二侧形成伸缩的平衡。本实用新型有益效果：节省人力搬运，利于更换靶材。