一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备，靶材喷涂设备包括喷涂仓、除尘机构和回气管，除尘机构具有进气口和出气口，喷涂仓相应地设有除尘口和回气口，除尘口连通除尘装置的进气口，回气管把回气口和出气口连接起来，喷涂设备还包括冷却装置，冷却装置包括风机和冷却器，风机的进风口连通回气管而出风口连接冷却器，冷却器的出气管出口朝向喷涂仓中靶材背管的喷涂部位。喷涂仓中的含尘气体在除尘机构中除掉粉尘后，回流到回气管中，一部分经风机加压后进入冷却器中，在冷却器中冷却后通过出气管输送到喷涂仓中对靶材背管的喷涂部位进行冷却。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123024729.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
CN216550655U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
雷雨周志宏肖世洪汤冠强刘芳
申请人 ：
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
代理机构 ：
广州永华专利代理有限公司
代理人 ：
劳觅
优先权 ：
CN202123024729.7
主分类号 ：
C23C4/12
IPC分类号 ：
C23C4/12 C23C4/129
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4/12
以喷镀方法为特征的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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