靶材热喷涂用局部冷却机构
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摘要

本实用新型涉及一种靶材热喷涂用局部冷却机构,包含喷枪和冷却装置,上述喷枪和冷却装置分别位于靶材的两侧,一喷枪安装架固定安装于地面上,喷枪安装架上设置有喷枪,喷枪朝向靶材设置;所述冷却机构包含间距调节器、间距调节孔、管路支撑架和惰性气体管;所述管路支撑架固定安装于地面,所述管路支撑架上设置有间距调节器,所述间距调节器沿其长度方向设置有多个均匀排布的间距调节孔;上述惰性气体管插至于相应的间距调节孔内且惰性气体管的前端出气口露出于孔外,所述惰性气体管的前端出气口朝向靶材设置;所述惰性气体管的进气口通过管路与惰性气体源相连接;本实用新型结构简单、冷却均匀,可自动调节冷却气体流量,极大的提高了生产效率。

基本信息
专利标题 :
靶材热喷涂用局部冷却机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922413519.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-27
授权号 :
CN211645369U
授权日 :
2020-10-09
发明人 :
蔺裕平王海琴
申请人 :
梭莱镀膜工业(江阴)有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市高新区金山路201号
代理机构 :
北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王凯
优先权 :
CN201922413519.3
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  C23C4/134  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2020-10-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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