本实用新型公开了一种靶材冷却装置，包括：底座，其包括至少一层放置台；若干纵向支撑件，其连接于所述底座上，每层所述放置台都具有若干纵向支撑件与之对应，与某层放置台对应的纵向支撑件高于该放置台；所有所述纵向支撑件间隔设置且沿所述底座的前后方向成列排布，同列纵向支撑件中的相邻的两纵向支撑件之间为靶材放置位，若干所述靶材放置位成列排布；若干横向限位件，其连接于所述放置台上，并沿所述底座的前后方向分布；每一列所述靶材放置位的左右两侧均设有所述横向限位件，从而限定所述横向限位件左右方向的极限位置。这种靶材冷却装置在靶材热处理后的冷却过程中，能够大幅减少用地面积，且靶材与空气接触面积增大，冷却效果更好。