一种靶材冷却装置

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摘要

本实用新型公开了一种靶材冷却装置，该冷却装置包括冷却柜、固设于该冷却柜下方的蓄水腔、固设于该蓄水腔与该冷却柜之间用于将该蓄水腔和冷却柜隔开的隔板、以及可转动盖设于该冷却柜正面的柜门，该隔板上设有连通该蓄水腔和该冷却柜的复数个第一漏水孔，该冷却柜内固设有用于放置靶材的至少一个水平置物板、固设于该冷却柜内中部并伸入至该蓄水腔内的竖直导水管、固设于该竖直导水管顶端并与该竖直导水管连通的水平喷淋管、设置于该竖直导水管底端并用于将该蓄水腔内的水抽向该水平喷淋管的水泵，该水平置物板顶面固设有用于将靶材隔开的竖直挡板，该水平喷淋管底面设有复数个出水孔，该水平置物板上设有贯穿该水平置物板的复数个第二漏水孔。

基本信息

专利标题：

一种靶材冷却装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921486815.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-09

授权号：

CN211303969U

授权日：

2020-08-21

发明人：

黄振黄松

申请人：

苏州东宸先瑞新材料科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州高新区前桥路55号2号楼

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921486815.X

主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B08B3/02 F26B21/00 F25D1/02