一种靶材离化冷却承载机构
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摘要
本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种靶材离化冷却承载机构，其包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；外管与内管之间设置有冷却液腔；外管设置有第一进水口和第一出水口；外管的外侧套设有电磁感应线圈。本申请的靶材离化冷却承载机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化冷却承载机构的冷却效果，保护了靶材离化冷却承载机构内部的零部件，保证靶材离化冷却承载机构能稳定地正常工作，降低了靶材离化冷却承载机构的故障率和维修率，进而降低了生产的成本。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材离化冷却承载机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021423084.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-17
授权号 ：
CN212375367U
授权日 ：
2021-01-19
发明人 ：
王俊锋袁明王锋
申请人 ：
广东鼎泰机器人科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号
代理机构 ：
东莞市华南专利商标事务所有限公司
代理人 ：
袁敏怡
优先权 ：
CN202021423084.7
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-01-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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