溅射镀膜靶材锁紧机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种溅射镀膜靶材锁紧机构，包括电极板和靶材锁紧环，其中，所述电极板的顶壁开设有贯穿顶壁的一个或多个通气孔；所述电极板的侧壁上设置有第一连接结构；所述靶材锁紧环的侧壁上设置有用于与电极板上的第一连接结构配合以将两者连接并锁紧在一起的第二连接结构。本实用新型的溅射镀膜靶材锁紧机构，制造容易且加工成本降低，安装与更换靶材更加非常方便，靶材锁紧环与电极板连接后工作可靠性高，不易损坏。
基本信息
专利标题 ：
溅射镀膜靶材锁紧机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021640616.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
CN213232473U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
魏国庆
申请人 ：
北京格微仪器有限公司
申请人地址 ：
北京市昌平区回龙观镇北清路1号院5号楼2层2单元207-1
代理机构 ：
北京元本知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
秦力军
优先权 ：
CN202021640616.2
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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