本实用新型提供一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，属于磁控溅射技术领域，该内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备包括一个密闭舱体，所述密闭舱体两侧外壁分别焊接有第一密封门和第二密封门，所述密闭舱体顶部内壁分别焊接有两个喷码组件，所述密闭舱体两侧外壁分别设有开口，所述密闭舱体两侧外壁开口处焊接有传送装置，所述传送装置分别设置于密闭舱体内部和两侧。本实用新型可以形成流水线作业，加快工作效率，同时可以对喷码装置进行相应设置，让喷码装置可以对基材进行不同形状的镀膜作业，当需要对喷码组件内部进行清理和更换靶材时，可通过打开顶盖来完成对喷码组件内部进行清理和更换靶材的工作。