溅射靶用靶材的制造方法
专利权的终止
摘要

本发明公开一种靶材的制造方法,是利用粉末冶金法制造溅射靶的靶材的方法,其包括:对于每一个成型后的被烧结体,从该被烧结体的一端开始进行烧结的加热工序;该加热工序优选为,对每一个所述被烧结体,使该被烧结体同时跨过两个以上的设为不同温度的相邻区域、一边搬送一边加热的工序。根据本发明,在加热工序中,对于每一个被烧结体,升温时通过在其两端设定温度差,可以从一端开始顺序加热,从而进行烧结,即,在制造长尺寸以及大型的靶材时,也可以使烧结工序从被烧结体的一端开始顺序进行,使该烧结体的由烧结引起的收缩也顺序产生,因此,可以提高最终获得的靶材的密度,改善密度不均的同时还可以防止发生弯曲变形以及裂纹。

基本信息
专利标题 :
溅射靶用靶材的制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1984855A
申请号 :
CN200580023674.2
公开(公告)日 :
2007-06-20
申请日 :
2005-09-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
高井惠一尾野直纪
申请人 :
三井金属矿业株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
北京金信立方知识产权代理有限公司
代理人 :
朱梅
优先权 :
CN200580023674.2
主分类号 :
C04B35/64
IPC分类号 :
C04B35/64  C23C14/34  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/622
形成工艺;准备制造陶瓷产品的无机化合物的加工粉末
C04B35/64
焙烧或烧结工艺
法律状态
2011-12-07 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101147916931
IPC(主分类) : C04B 35/64
专利号 : ZL2005800236742
申请日 : 20050929
授权公告日 : 20100512
终止日期 : 20100929
2010-05-12 :
授权
2007-08-15 :
实质审查的生效
2007-06-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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