靶材真空喷涂生产设备

授权

摘要

本实用新型属于靶材生产领域，具体为靶材真空喷涂生产设备，包括除尘机构，所述除尘机构包括除尘回收机、负压管、管道接头，所述除尘回收机前部设有所述负压管，所述负压管前端设有所述管道接头，所述除尘机构上设有用于喷涂的喷涂机构，所述喷涂机构上设有用于方便取放靶材的放置机构，所述喷涂机构包括导轨一、直线电机一、导轨二、直线电机二、喷箱，所述喷箱前部设有挡门，所述挡门上嵌入有观察窗，所述喷箱内侧顶部设有所述导轨一。本本实用新型采用喷涂机构，从而可以带动喷枪进行移动对靶材不同位置喷涂，这样可以节约空间并且节约制造材料的使用，从而降低成本，并且采用放置机构，从而方便取放靶材，使用方便。

基本信息

专利标题：

靶材真空喷涂生产设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921722026.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-15

授权号：

CN211385479U

授权日：

2020-09-01

发明人：

吴宏伟

申请人：

沈忆谊

申请人地址：

浙江省湖州市德清县新安镇下舍村黄泥滩8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921722026.1

主分类号：

B05B13/02

IPC分类号：

B05B13/02 B05B13/04 C23C14/35 C23C14/32