一种靶材真空存放装置

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摘要

本实用新型提供了一种靶材真空存放装置，所述靶材真空存放装置包括底板以及与底板连接的顶盖；所述底板设置有放置靶材的凹槽，凹槽的深度大于靶材的厚度；所述凹槽的侧壁设置有置换气体入口、气体排空口以及抽真空口；所述顶盖的顶面设置有通孔，通孔由塑料薄膜封闭，塑料薄膜的表面积大于通孔的面积，使底板与顶盖形成的腔体处于真空状态时，塑料薄膜能够包裹靶材。本实用新型所述靶材真空存放装置的结构简单，能够有效防止包装靶材导致的靶材形变，且使用方便，能够有效解决靶材存放时产生的氧化问题，从而使靶材能够长时间稳定保存。

基本信息

专利标题：

一种靶材真空存放装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021651107.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-10

授权号：

CN213084107U

授权日：

2021-04-30

发明人：

姚力军边逸军潘杰王学泽王徐

申请人：

宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司

代理人：

王岩

优先权：

CN202021651107.X

主分类号：

B65D81/20

IPC分类号：

B65D81/20