一种旋转靶材绑定用抽真空装置
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摘要
本实用新型涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置，绑定时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置在密封盖上，所述密封环Ⅰ设置于靶材与模具底座之间，密封环Ⅱ设置在背管与模具底座之间，密封环Ⅲ设置于靶材与密封盖之间，密封环Ⅳ设置在背管与密封盖之间。采用本实用新型在绑定过程对旋转靶材与背管之间形成的密闭空间进行抽真空，能够防止加热过程中旋转靶材被氧化，解决了现有绑定技术中靶管金属化层与背管金属化层在升温过程中被氧化的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转靶材绑定用抽真空装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921848877.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-30
授权号 ：
CN211036079U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
陈标刘所心郭朋段宇龙
申请人 ：
广西晶联光电材料有限责任公司
申请人地址 ：
广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号
代理机构 ：
柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
韦微
优先权 ：
CN201921848877.0
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/56 B22D19/04
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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