一种旋转靶绑定的旋转定位装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种旋转靶绑定的旋转定位装置，包括用于固定旋转靶的底座，底座设置有驱动部和夹持部，夹持部旋转安装于驱动部，底座的一侧设置有定位柱，定位柱套设有滑动定位部，滑动定位部滑动安装于定位柱，滑动定位部设置有上定位部，上定位部与定位柱之间设置有设定距离，在对旋转靶进行定位时，夹持部固定旋转靶的一端，上定位部抵压旋转靶的另一端。本实用新型的旋转定位装置，适用性强，功能性强，提高旋转靶的绑定质量。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转靶绑定的旋转定位装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020240937.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-03
授权号 ：
CN211445883U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
张益
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
李少欢
优先权 ：
CN202020240937.7
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
