一种旋转靶绑定吊装夹具
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摘要

本实用新型公开了一种旋转靶绑定吊装夹具,吊盖,用于安装在旋转靶的背管的端头,吊盖覆盖背管的端头,吊盖的顶面设置有至少一吊耳,吊盖的底面凸出设置有一端头安装部,端头安装部围敝形成一端头安装腔,端头安装部的外缘设置有端头连接通孔,端头连接通孔从吊盖的底面贯穿至吊盖的顶面,底座,用于安装在旋转靶的背管的尾盖,底座覆盖背管的尾盖,尾盖的底面凸出设置有一尾盖安装部,尾盖安装部围敝形成一尾盖安装腔,尾盖安装部的外缘设置有尾盖连接通孔,尾盖连接通孔从尾盖的底面贯穿至尾盖的顶面,端头连接通孔与尾盖连接通孔的位置相对应,拉杆的两端分别活动安装于端头连接通孔和尾盖连接通孔。本吊装夹具固定效果好,易操作。

基本信息
专利标题 :
一种旋转靶绑定吊装夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921362946.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-21
授权号 :
CN210506509U
授权日 :
2020-05-12
发明人 :
陈明恒
申请人 :
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 :
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 :
李少欢
优先权 :
CN201921362946.7
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2020-05-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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