一种旋转靶绑定工装夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种旋转靶绑定工装夹具，底座，用于安装旋转靶的背管的尾盖，底座覆盖背管的尾盖，底座的底面凸出设置有一尾盖安装部，尾盖安装部围护形成一尾盖安装腔，尾盖安装部的外缘设置有尾盖连接通孔，尾盖连接通孔从尾盖的底面贯穿至尾盖的顶面，延长端，用于安装旋转靶的背管的端头，延长端设置有一延长部，延长部的一端设置有一固定连接部，延长部连接于固定连接部，固定连接部与端头连接，固定护套设置有一围护部，围护部的内侧形成一围护空间，延长部安装于围护空间中，围护部与延长部间隙配合，围护部的一侧设置有固定部，固定部安装于支架。本实用新型的工装夹具，保障工作人员和设备的安全。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转靶绑定工装夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921362099.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-13
授权号 ：
CN210796609U
授权日 ：
2020-06-19
发明人 ：
陈明恒
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
李少欢
优先权 ：
CN201921362099.4
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-06-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
