一种旋转靶绑定设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种旋转靶绑定设备，包括基座，基座安装有振动装置，基座的安装有工装夹具，工装夹具用于固定旋转靶的尾盖和端头，工装夹具包括支架、底座、延长端和固定护套，基座的侧方设置有支架，旋转靶的尾盖安装于底座，延长端的一端连接于旋转靶的端头，固定护套的一侧套装于延长端，固定护套的另一侧固定于支架，基座插设有内加热装置，内加热装置位于旋转靶的内侧，旋转靶的外侧设置有外加热装置，外加热装置设置有多个外加热部，外加热部的一端固定于支架，外加热部的另一端与旋转靶的外侧面间隙配合，绑定设备包括水冷环装置。本实用新型的绑定设备，可以一次整体绑定长旋转靶，无需分节处理，加快冷却时间，提高生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转靶绑定设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921362121.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-21
授权号 ：
CN210481506U
授权日 ：
2020-05-08
发明人 ：
陈明恒
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
李少欢
优先权 ：
CN201921362121.5
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 B22D19/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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