一种ITO旋转靶绑定设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种ITO旋转靶绑定设备，包括背管内加热装置、升降平台和工装定位装置，背管内加热装置固定于地面，升降平台滑动安装于背管内加热装置的一侧，背管内加热装置包括加热管和底座，底座固定于地面，加热管竖直安装于底座；工装定位装置包括工装底盘、定位环、拉杆和端盖，加热管穿过工装底盘，工装底盘的一端活动放置于底座，工装底盘的另一端安装有定位环，背管的一端插入至定位环，背管的另一端安装有端盖，工装底盘的边缘设置有底盘孔，端盖的边缘设置有端盖孔，端盖孔与底盘孔的位置相对应，拉杆的两端分别安装于位置对应的端盖孔和底盘孔。本ITO旋转靶绑定设备，ITO靶材绑定质量稳定，绑定效果好，生产效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种ITO旋转靶绑定设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921362131.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-21
授权号 ：
CN210506501U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
陈明恒
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
李少欢
优先权 ：
CN201921362131.9
主分类号 ：
C23C14/08
IPC分类号 ：
C23C14/08 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/08
氧化物
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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