一种用于旋转靶绑定的加热装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于旋转靶绑定的加热装置，加热装置包括设置在旋转靶绑定工装装置旁侧的升降支柱、加热模块和升降驱动装置，加热模块，用作对旋转靶材进行局部加热，加热模块滑动安装于升降支柱靠近旋转靶绑定工装装置的一侧，加热模块位于旋转靶绑定工装装置的上方；升降驱动装置，用作驱动加热模块沿旋转靶轴线方向作升降运动，升降驱动装置连接加热模块。与现有技术相比，该加热装置能够对旋转靶进行分节加热，免除整管加热，降低操作难度，减少能耗折损，提高绑定质量。
基本信息
专利标题 ：
一种用于旋转靶绑定的加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020277786.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-09
授权号 ：
CN211406299U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
陈明恒
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
林晓宏
优先权 ：
CN202020277786.2
主分类号 ：
H05B3/02
IPC分类号 ：
H05B3/02 H05B6/02 H05B6/06
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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