一种靶材绑定用靶管加热装置
授权
摘要
本申请涉及一种靶材绑定用靶管加热装置，包括：底座、固定套、三个温度传感器和三个温度控制器，固定套竖直设置在底座上，固定套外壁上从上到下依次间隔有上加热组件、中加热组件和下加热组件，三个温度传感器从上到下依次间隔设置在固定套外壁上，用于分别检测上加热组件、中加热组件和下加热组件的温度；三个温度控制器分别与上加热组件、中加热组件和下加热组件电性连接，三个温度控制器分别与三个温度传感器电性连接。本申请结构简单，操作方便，不容易出现破损，不影响生产的连续性，靶管表面温度均匀性好。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材绑定用靶管加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122882529.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
CN216491108U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
刘所心马超宁于林林杨兴伟杨元虎史向阳
申请人 ：
洛阳晶联光电材料有限责任公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号（洛阳市孟津县麻屯镇）
代理机构 ：
洛阳公信联创知识产权代理有限公司
代理人 ：
周会芝
优先权 ：
CN202122882529.9
主分类号 ：
H05B3/06
IPC分类号 ：
H05B3/06 H05B1/00
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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