一种平面靶材的绑定装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种平面靶材的绑定装置，该装置包括带滑轨的机架、热台、密封滑盖、气动升降滑块、辅助板、用于控制热台温度的温度控制箱和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块。采用本实用新型进行靶材绑定的方法是在常温下将背板、铟板和靶材初步定位在辅助板上，然后放置到热台上加热绑定。当温度升高后，在高温状态时，操作人员只需要打开密封滑盖，检查靶材绑定位置是否符合要求，如有不符合的地方，进行调整。与现有在高温下需要搬运靶材与金属背板贴合的绑定方式相比，本实用新型的操作人员只需在高温下进行位置精度检查和微调，可避免操作人员长时间高温作业，从而降低了工人操作强度，改善了工作环境，提高了绑定质量稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种平面靶材的绑定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921115380.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-16
授权号 ：
CN210458348U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
郑飞雄廖政堂黄作农浩陆映东
申请人 ：
广西晶联光电材料有限责任公司
申请人地址 ：
广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号
代理机构 ：
柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
韦微
优先权 ：
CN201921115380.8
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/35
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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