一种靶材绑定用靶管金属化装置
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摘要
本实用新型涉及一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器和电机，还包括有旋转套、外加热套、丝杆和滑套，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承安装在旋转套上，另一端通过连接件与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套与电机Ⅰ的转轴连接。本实用新型涂铟厚度一致，自动化水平高，有效解决了人工涂铟方式中存在的涂铟不均匀，工人劳动强度大，对工人熟练程度要求高的情况，从而有效的提高工作效率，提高靶材绑定贴合率以及贴合强度。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材绑定用靶管金属化装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921738190.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-15
授权号 ：
CN210711720U
授权日 ：
2020-06-09
发明人 ：
陈标刘所心马超宁段宇龙
申请人 ：
洛阳晶联光电材料有限责任公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号（洛阳市孟津县麻屯镇）
代理机构 ：
柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
韦微
优先权 ：
CN201921738190.1
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 B05B17/06 B05B13/06
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IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-06-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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