一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置
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摘要

本实用新型公开了一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置,包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管,电刷镀处理装置包括刷头和至少两个用于连接在靶材管外壁的负极连接部,刷头设置有正极连接管,正极连接管的一端连接于刷头,正极连接管的另一端连接直流电源的正极,电刷镀输液管的一端固定于刷头,电刷镀输液管的另一端连接电刷镀液,负极连接部与靶材管同轴安装,负极连接部设置有数量与负极连接部数量相等的负极连接管,各负极连接管的一端与对应的负极连接部连接,负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极。本电刷镀处理装置,提高电刷镀时阳极和阴极之间的电流密度和离子沉积速度,提高电刷镀层的致密性和电刷镀效率。

基本信息
专利标题 :
一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921362154.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-21
授权号 :
CN210506553U
授权日 :
2020-05-12
发明人 :
陈明恒
申请人 :
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 :
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 :
李少欢
优先权 :
CN201921362154.X
主分类号 :
C25D5/06
IPC分类号 :
C25D5/06  C25D7/00  C23C14/35  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D5/00
以工艺方法为特征的电镀;工件的预处理或后处理
C25D5/04
用移动电极电镀
C25D5/06
刷镀或补镀
法律状态
2020-05-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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