本发明公开了一种靶材绑定检测系统、装置及方法，其中，该装置包括控制单元、与控制单元连接的输送控制单元和防溢出单元；输送控制单元响应控制单元发出的绑定控制指令控制输送装置由下至上输送液态绑定材料至填充腔中；防溢出单元检测填充至填充腔中的液态绑定材料的液面是否升至最高靶材的平面，并当液面升至最高靶材平面时产生一防溢出信号，使控制单元响应防溢出信号控制输送控制单元停止驱动输送装置向填充腔中输送液态绑定材料。通过本发明，由下至上导入绑定材料使得填充均匀，同时能够确保绑定充分的同时防止绑定填充材料的浪费、以及填充液溢出造成的靶材污染。