一种旋转靶材绑定装置
授权
摘要
本实用新型属于旋转靶材技术领域，且公开了一种旋转靶材绑定装置，包括底座，所述底座的顶部安装有支撑架，所述支撑架的外侧固定有控制器，且支撑架的内侧顶端安装有第一液压缸，所述第一液压缸的底部通过液压杆固定连接有真空吸盘，所述支撑架的内侧侧壁安装有导轨，所述导轨远离支撑架的一侧上方固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部安装有连接块，本实用新型通过电动伸缩杆带动连接块升降，使连接块带动活动块在第二滑槽内滑动，从而使涂胶器能够平缓的上下移动，之后通过第二液压缸带动涂胶器沿水平方向移动，从而使涂胶器左右移动，进而便于涂胶器对旋转靶材与绑定基板的表面进行涂胶。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转靶材绑定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921672006.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-29
授权号 ：
CN210560716U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
胡茂横
申请人 ：
深圳恒泰克科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处秀新社区锦绣中路14号深福保现代光学厂区一期厂房103C区
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
彭西洋
优先权 ：
CN201921672006.8
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/32
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN210560716U.PDF
PDF下载
