一种ITO旋转靶绑定装置
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种ITO旋转靶绑定装置,包括背管、靶材管以及加热管,所述背管安装在靶材管内部,用于绑定所述靶材管,所述加热管设置在所述背管内部,用于给所述背管加热,所述背管和靶材管的接口处设置有第一槽口,用于放置焊接所述背管和靶材管的焊料,所述加热管竖直安装于底盘和顶盘,所述底盘和顶盘内分层设置有固定所述背管、靶材管的第一圆管,所述底盘和顶盘的底座固定安装有轴承,所述轴承用于转轴穿过,所述转轴连通有电机。本装置通过将拉管安装在转轴上,一方面可以很省时省力,另一方面可以提高靶材的利用率和玻璃基片镀膜的均匀性;或者将拉管安装在靶材管的内部,这样拉管完全不会遮挡住靶材的面积,进一步提高了靶材的利用率。

基本信息
专利标题 :
一种ITO旋转靶绑定装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114481049A
申请号 :
CN202111602585.0
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-12-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李结松吕明泽钟汝梅王进周道均陈杰
申请人 :
凯盛信息显示材料(洛阳)有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市伊滨区兰台路39号
代理机构 :
昆明合众智信知识产权事务所
代理人 :
朱世新
优先权 :
CN202111602585.0
主分类号 :
C23C14/34
IPC分类号 :
C23C14/34  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20211224
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332