一种真空镀膜靶材安装结构
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摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜靶材安装结构，包括靶头和磁铁块，所述靶头下固定连接有密封圆板，所述密封圆板内嵌设有水管，所述密封圆板的下方固定连接有上盖板，所述靶管内设置有塑胶管，所述塑胶管底部固定连接有U型杆，所述U型杆上固定连接有防滑套，所述防滑套上开设有防滑纹，所述塑胶管内设置有热缩胶，所述热缩胶内嵌设有铁氟龙片，所述铁氟龙片内固定连接有磁铁座，所述磁铁块固定连接在磁铁座外侧。该真空镀膜靶材安装结构设置有热缩胶和铁氟龙片，在将上盖板旋上之前，向磁铁座与塑胶管之间注入热缩胶，热缩胶能保护磁铁块受外力影响时，不会脱离磁铁座，且能够有效避免磁铁块与塑胶管，靶管直接摩擦。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜靶材安装结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021941732.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213172548U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
冯伟吴海平杜晓颖杜国才
申请人 ：
深圳市长兴荣五金制品有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区横岗街道上下路53号厂房1-3层
代理机构 ：
广东众行知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
林少波
优先权 ：
CN202021941732.8
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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