一种真空镀膜用靶材固定装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜用靶材固定装置，靶材固定装置包括设于腔室内的冷却背板，所述冷却背板上下两侧分别通过压块固定有一块靶材，所述冷却背板的左右两端分别连接有一个转轴，两个所述转轴的轴线重合，且每个所述转轴与对应的翻转电机相连，所述腔室的侧壁通过至少一个弹簧合页铰接连接有挡板，当其中一块所述靶材进行镀膜处理时，所述挡板压覆在另一块所述靶材的表面，且所述挡板能够在翻转的所述冷却背板的带动下转动，待所述冷却背板翻转完成后，所述挡板在所述弹簧合页的作用下回弹至压覆对应的所述靶材表面的位置。本实用新型有助于减少开腔清理次数，还能对未处理的靶材表面进行保护，避免被污染。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜用靶材固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122931574.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
CN216473457U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
刘玉洲李小宝张爱兵迮建军古宏伟蔡渊
申请人 ：
东部超导科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区江陵街道大兢路518号
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
范晴
优先权 ：
CN202122931574.9
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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