ITO平面靶材清洗固定装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种ITO平面靶材清洗固定装置，包括侧板、固定架、底杆；所述侧板采用两片且分列于两侧，所述侧板上部设有手提孔；本清洗固定装置使用时,将板状的ITO平面靶材的一端从上固定架的两根相邻的纵杆之间插入，再插入下固定架的两根相邻的纵杆之间，装载完毕后，通过手提孔，将装载有ITO平面靶材的本清洗固定装置放进超声清洗池中，浸没在清洗介质中进行清洗工序，清洗完后，ITO平面靶材表面无油渍无粉尘，无崩角，无开裂。

基本信息

专利标题：

ITO平面靶材清洗固定装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021675947.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-12

授权号：

CN213613021U

授权日：

2021-07-06

发明人：

柯尚文周传水李隽余永强

申请人：

广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司

申请人地址：

广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司

代理人：

薛建强

优先权：

CN202021675947.X

主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

B08B3/12 B08B13/00