一种平面靶材区分加热装置
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摘要
本实用新型一种平面靶材区分加热装置，机箱(1)的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔(1.1)，所述机箱(1)内设置的内隔板(2)将机箱(1)内的腔体分割为相互独立的上腔室和下腔室，且上腔室内设置都有多个分区挡板(3)将上腔室分隔为相互独立的多个风腔，上述冷却风通孔(1.1)分别与多个风腔相连通，所述机箱(1)的顶板上通过多条支撑板(4)支撑有加热板(5)，所述加热板(5)内嵌置有多条下隔热条(5.1)构成多个相互独立的加热区，且加热板(5)内均匀设置有多个电加热元件(5.2)。本实用新型一种平面靶材区分加热装置，其能够同时多种不同温度需求的加料进行加温，从而极大的提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种平面靶材区分加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922413617.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN211406309U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
蔺裕平王海琴
申请人 ：
梭莱镀膜工业(江阴)有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市高新区金山路201号
代理机构 ：
北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王凯
优先权 ：
CN201922413617.7
主分类号 ：
H05B3/22
IPC分类号 ：
H05B3/22 H05B3/02
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法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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