一种靶材浇铸加热装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种靶材浇铸加热装置，包括加热平台和电控柜，加热平台安装有三组发热管组和三个热电偶，电控柜内设有温度控制电路，温度控制电路设置有三相电源输入端口、加热支路和温度反馈支路，加热支路设置有三相调压模块，三相调压模块和发热管组支路串联而成一加热支路，温度反馈支路设置有三个温控器、第一接触器KM2、第二接触器KM3和第三接触器KM4，第一接触器KM2的线圈、第二接触器KM3的线圈和第三接触器KM4的线圈分别电连接于三个温控器的信号输出接口，各温控器的信号输入接口分别各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号。本实用新型采用能够使得加热平台处于恒温状态，以实现对温度精准的控制。

基本信息

专利标题：

一种靶材浇铸加热装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921362100.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-21

授权号：

CN210305714U

授权日：

2020-04-14

发明人：

黄汝峰刘贵兵

申请人：

东莞市欧莱溅射靶材有限公司

申请人地址：

广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号

代理机构：

北京天盾知识产权代理有限公司

代理人：

林晓宏

优先权：

CN201921362100.3

主分类号：

B22D27/04

IPC分类号：

B22D27/04 B22D46/00