本实用新型涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种真空镀膜靶材安装机构，包括基板，所述基板上端部中心位置上固定安装有固定座，所述固定座两侧固定卡接有固定机构，所述固定机构中包含有两个单一的固定架，两个所述固定架上端部均为U字型，两个所述固定架中均开设有卡接槽。该种真空镀膜靶材安装机构，设置的该种固定机构，在进行靶材的安装时，可以牢牢将靶材固定住，而且在进行操作时候，容易上手，同时固定机构中设置有硅胶软垫，可以对固定架中的靶材起到一定的保护作用，进行装置的拆卸时，可以将基板进行拆卸，基板与机器主要靠螺栓进行固定，因此拆除的过程相对简单，节省了大量人力。