一种靶材散热机构
授权
摘要
本实用新型涉及一种靶材散热机构,包括靶面连接块(1)、进出水管道(2)以及进出水装置(3);所述进出水管道(2)一端与所述靶面连接块(1)连接,所述进出水管道(2)另一端与所述进出水装置(3)连接;冷却液进入所述进出水装置(3)并通过所述进出水管道(2)进入到所述靶面连接块(1)中,所述冷却液与所述靶面连接块(1)换热之后再通过所述进出水管道(2)从所述进出水装置(3)离开。本实用新型在特定工作环境中可以冷却靶面,冷却效果好,利用率高,能有效的对靶面进行降温而且可以重复利用,并且结构较为简单。
基本信息
专利标题 :
一种靶材散热机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021820379.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-27
授权号 :
CN212566489U
授权日 :
2021-02-19
发明人 :
时昌茹
申请人 :
深圳市绿谷离子镀膜科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区粤海街道科技园社区科发路2号30区3栋202-A23
代理机构 :
宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
涂萧恺
优先权 :
CN202021820379.8
主分类号 :
F25D31/00
IPC分类号 :
F25D31/00 F25D17/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F25
制冷或冷却;加热和制冷的联合系统;热泵系统;冰的制造或储存;气体的液化或固化
F25D
冷柜;冷藏室;冰箱;其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D
冷柜;冷藏室;冰箱;其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D31/00
其他冷却或冷冻设备
法律状态
2021-02-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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