一种新型靶材固定装置
授权
摘要
为了解决现有的通过螺丝将靶材锁死在铜块上引起的靶材散热效果差的问题，本实用新型提出一种新型靶材固定装置，其特征在于：其包括：靶材固定装置主体1、防呆螺旋纹2和内圈凸起固定环3，其中，靶材固定装置主体1为圆环形结构，在圆环形结构的侧壁外部设有一个或多个防呆螺旋纹2，内圈凸起固定环3位于圆环形结构的侧壁内部，内圈凸起固定环3沿着圆环形结构的内侧壁向外延伸并超出靶材固定装置主体1，靶材主体4穿过靶材固定装置主体1的圆环形结构的内部。
基本信息
专利标题 ：
一种新型靶材固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922254086.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211445875U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
吴伟亮冯刚邓永琪汪毅梁海洋
申请人 ：
苏州星蓝纳米技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区亭南路70号
代理机构 ：
江苏昆成律师事务所
代理人 ：
刘尚轲
优先权 ：
CN201922254086.1
主分类号 ：
C23C14/00
IPC分类号 ：
C23C14/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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