一种靶材辅助抛光装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型涉及一种靶材辅助抛光装置，所述装置包括：手柄和端头圆盘；所述端头圆盘的形状为圆台；所述圆台直径小的一面和所述手柄相连接；所述手柄的形状为柱状。本实用新型提供的装置简单小巧，实用性强，成本低，抛光效率高，安全性高，抛光后表面质量好，抛光后纹路均匀，表面质量好，可以明显改善靶材初期溅射镀膜质量。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材辅助抛光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020343336.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-18
授权号 ：
CN211841488U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
姚力军潘杰边逸军王学泽祝龙飞
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202020343336.9
主分类号 ：
B24B29/04
IPC分类号 ：
B24B29/04 B24B27/00 B24D9/08
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
B24B29/04
用于对称旋转工件，如球形，圆柱形或锥形工件
法律状态
2021-11-16 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B24B 29/04
登记生效日 : 20211104
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 宁波江丰电子材料股份有限公司
变更后权利人 : 广东江丰电子材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
变更后权利人 : 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区东江产业园东新大道106号创新大厦18楼1803T号房
登记生效日 : 20211104
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 宁波江丰电子材料股份有限公司
变更后权利人 : 广东江丰电子材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
变更后权利人 : 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区东江产业园东新大道106号创新大厦18楼1803T号房
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN211841488U.PDF
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