本实用新型公开了一种密封热处理装置及其机械手装置，该热处理装置包括多层放置基板用的装载层，加热器，用于固定装载层和加热器的框架，所述装载层的左右两侧和底部设置有金属夹，对每个装载层，所述框架上设置有相对应的可控门，所述加热器设置在框架底部，其中，所述可控门设置在框架的顶端，所述基板及装载层在框架内竖直放置。本实用新型提供的密封热处理装置及其机械手装置能够高密度的装载被加热物，便于热处理装置大型化且不降低热处理效率。