一种密封靶材热处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种密封靶材热处理装置，该热处理装置包括加热柜、可转动盖设于该加热柜上的密封柜门、固设于加热柜内中部将该加热柜分割为左腔室和右腔室的竖直中空隔板、以及可滑动插入至左腔室内的复数块第一加热板、可滑动插入至右腔室内的复数块第二加热板，该复数块第一加热板中每块第一加热板均为中空加热板，该第一加热板内固设有第一电加热管，该第一加热板侧边设有与第一电加热管电连接的第一电插头，该复数块第二加热板中每块第二加热板均为中空加热板，该第二加热板内固设有第二电加热管，该第二加热板侧边设有与该第二电加热管电连接的第二电插头，该加热柜第一内侧壁上设有供该第一加热板第一侧滑动插入的复数个第一滑槽。
基本信息
专利标题 ：
一种密封靶材热处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921486896.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-09
授权号 ：
CN210886200U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
黄振颜文明
申请人 ：
苏州东宸先瑞新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州高新区前桥路55号2号楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921486896.3
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C21D9/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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