本实用新型公开了属于溅射技术领域的一种靶材配套聚焦环的热处理工装，所述热处理工装包括夹紧装置和反撑装置，反撑装置反撑在靶材配套聚焦环的内部，夹紧装置夹紧靶材配套聚焦环的开口处；反撑装置包括：中心轴，中心筒和反撑杆；螺旋手柄滑动穿插在中心筒顶部的圆孔中，中心轴连接柱和中心轴圆台安装在中心筒内部，中心轴圆台和中心筒通过螺纹连接，中心轴通过旋转可以在中心筒内上下移动；夹紧装置通过螺栓固定内板和外板。所述工装通过对靶材配套聚焦环开口的固定和对内壁的反撑，可有效避免热护理后靶材配套聚焦环发生变形，保证其圆度，热处理后出来的靶材配套聚焦环圆度较好，尺寸符合要求，因此对后续加工奠定了良好的基础。