基于PVDF的轻敲式高灵敏度SPM测头
避免重复授权放弃专利权
摘要
基于PVDF的轻敲式高灵敏度SPM测头，其特征是以PVDF压电薄膜为振动梁、以钨探针为扫描探针；振动梁设置为具有弯曲弧度的简支梁，振动梁的左右两端通过夹持结构分别固定在相对设置的两侧压电驱动器的前端，两侧压电驱动器的后端分别固定在各自的悬臂梁上，悬臂梁呈单端悬置设置在测头架上；扫描探针固定设置在振动梁下表面的中心位置上。本实用新型是以振动梁输出的电荷量的改变表征振动梁由所受微测力而导致的振幅变化，在被测面上进行多点微测力轻敲扫描实现对试样表面的测量。本实用新型可以实现高空间分辨率、低测量力，适合各种材料，并且可以在空气环境中进行测量。
基本信息
专利标题 ：
基于PVDF的轻敲式高灵敏度SPM测头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820160096.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-09-26
授权号 ：
CN201266162Y
授权日 ：
2009-07-01
发明人 ：
黄强先侯茂盛杨朋桢罗涛张瑜
申请人 ：
合肥工业大学
申请人地址 ：
230009安徽省合肥市屯溪路193号
代理机构 ：
安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
代理人 ：
何梅生
优先权 ：
CN200820160096.8
主分类号 ：
G01N13/10
IPC分类号 ：
G01N13/10 G01N33/483
法律状态
2011-09-28 ：
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101188301308
IPC(主分类) : G01N 13/10
专利号 : ZL2008201600968
申请日 : 20080926
授权公告日 : 20090701
放弃生效日 : 20080926
号牌文件序号 : 101188301308
IPC(主分类) : G01N 13/10
专利号 : ZL2008201600968
申请日 : 20080926
授权公告日 : 20090701
放弃生效日 : 20080926
2009-07-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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