本实用新型公开了一种高度集成的高纯氮设备，包括原料空气压缩机单元，所述高纯氮设备还包括对压缩后的空气进一步处理分离的预纯化集成单元和分馏塔集成单元，所述预纯化集成单元和分馏塔集成单元表面各设有若干供气、液体进出的管道，所述各单元对应的管道之间连通。本实用新型整个设备被分成三个集成单元，运输验收方便，不易发生漏发或漏点现象；在现场安装时，只需要将各单元之间对应的管道连通即可运作，安装方便，省时省力；同时其各单元集成度高，工程设计简单、工作量小。